簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "工業管理系".dept (精準) and ckeyword.raw="微影工程"


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    由微影工程角度探討十二吋晶圓廠新建至量產之模式-以台中科學園區某晶圓廠為例
    • /94/ 碩士
    • 研究生: 金志明 指導教授: 葉瑞徽
    • 半導體晶圓廠是一個非常複雜的製造環境,其中包含250至300種製程機台,需執行幾百甚至有上千種不同製程步驟。在執行興建新的晶圓廠前需要做許多面向的考量,包含廠址選擇、設定製程目標、機台選定等,建廠時…
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